| 产品特性：离子束 | 加工定制：否 | 品牌：scia Systems |
| 型号：Finish 1500 | 用途：刻蚀抛光 | 别名：抛光机 |
1. 常规属性
- 采用聚焦离子束轰击样品表面，通过控制离子束焦斑在局部区域的驻留时间，来实现表面材料的定量去除，从而实现抛光或表面修整
- 适合于大口径光学元件长期稳定抛光
- 专用高效离子源***大面积的高精度抛光
- 加工效***
- 真空仓滑动门设计，可轻松装载大型基板
- 针对批量生产的设计，真空恢复用时短
2. 系统性能
| scia Finish 1500 | |
| 样品尺寸 | ф1500 mm，400 kg |
| 样品台 | |
| 轴向直线运动特性 | 线速度0.15m/s, 线加速度15m/S2 |
| 离子源 | ★ 37mm 圆形射频源RF37-i，束腰7--15mm （FWHM） ★ 120mm 圆形射频源RF120-m，束腰16-- 36mm （FWHM）可选***个离子源 |
| 中和器 | 射频等离子桥中和器N-RF |
| 参考去除率 | SiO2： 14 mm3/h （RF37-i)96 mm3/h （RF120-m) |
| 加工后表面精度 | <0.5nm rms （薄膜修整厚度不均匀性，与初始状态有关） |
| 系统尺寸（W x D x H） | 3.6m x 7.7 m x 3.4 m (不含电柜和真空泵） |
| 基础真空度 | 1x10-6 mbar |
| 软件界面 | SECS II / GEM, OPC |
| 标准配置 | 1个工作仓 |
